集团（Cluster）冲击表面研究综述

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集团（Cluster）冲击表面研究综述

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王震遐. 集团（Cluster）冲击表面研究综述[J]. 原子核物理评论, 1994, 11(4): 34-36. doi: 10.11804/NuclPhysRev.11.04.034

引用本文:

王震遐. 集团（Cluster）冲击表面研究综述[J]. 原子核物理评论, 1994, 11(4): 34-36. doi: 10.11804/NuclPhysRev.11.04.034

Wang Zhen-xia. Brief Summary for Investigations of Cluster Impact Surface[J]. Nuclear Physics Review, 1994, 11(4): 34-36. doi: 10.11804/NuclPhysRev.11.04.034

Citation:

Wang Zhen-xia. Brief Summary for Investigations of Cluster Impact Surface[J]. Nuclear Physics Review, 1994, 11(4): 34-36. doi: 10.11804/NuclPhysRev.11.04.034

集团（Cluster）冲击表面研究综述

doi: 10.11804/NuclPhysRev.11.04.034

王震遐

中国科学院上海原子核研究所;

Brief Summary for Investigations of Cluster Impact Surface

Wang Zhen-xia

Shanghai Institute of Nuclear Research; Chinese Academy of Sciences; Shanghai 201800

摘要: 本文综述了上海原子核所关于集团冲击表面的研究进展，并对集团溅射和表面形貌关联进行了讨论． A brief summary for the developments of cluster impact surface including sputtering, surface topography and the influence of topographical feature on the sputtering process, is presented.
- 集团离子溅射 /
- 表面形貌学 /
- 冲击成膜
Abstract: A brief summary for the developments of cluster impact surface including sputtering, surface topography and the influence of topographical feature on the sputtering process, is presented.
- cluster sputtering /
- surface topography /
- impact deposition

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集团（Cluster）冲击表面研究综述

doi: 10.11804/NuclPhysRev.11.04.034

王震遐

中国科学院上海原子核研究所;

收稿日期: 1900-01-01
修回日期: 1900-01-01
刊出日期: 1994-12-20

关键词:

集团离子溅射 /

表面形貌学 /

摘要: 本文综述了上海原子核所关于集团冲击表面的研究进展，并对集团溅射和表面形貌关联进行了讨论． A brief summary for the developments of cluster impact surface including sputtering, surface topography and the influence of topographical feature on the sputtering process, is presented.

English Abstract

王震遐. 集团（Cluster）冲击表面研究综述[J]. 原子核物理评论, 1994, 11(4): 34-36. doi: 10.11804/NuclPhysRev.11.04.034

引用本文:

王震遐. 集团（Cluster）冲击表面研究综述[J]. 原子核物理评论, 1994, 11(4): 34-36. doi: 10.11804/NuclPhysRev.11.04.034

Wang Zhen-xia. Brief Summary for Investigations of Cluster Impact Surface[J]. Nuclear Physics Review, 1994, 11(4): 34-36. doi: 10.11804/NuclPhysRev.11.04.034

Citation:

Wang Zhen-xia. Brief Summary for Investigations of Cluster Impact Surface[J]. Nuclear Physics Review, 1994, 11(4): 34-36. doi: 10.11804/NuclPhysRev.11.04.034

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