加速器——电子显微镜联机及其在材料科学研究中的应用
doi: 10.11804/NuclPhysRev.08.01.030
- Received Date: 1900-01-01
- Rev Recd Date: 1900-01-01
- Publish Date: 1991-03-20
Abstract: 由小型加速器产生的载能离子束作用于固体材料,可引起其成分、原子环境、电子组态以及相结构的变化,从而导致材料性能的改变,以获得新的高性能的材料和器件,在现代材料科学领域已得到广泛应用。离子注入半导体的研究,推动了微电子学工业的发展。离子束冶金学的诞生,使亚稳态合金体系的研究以及金属材料的表面加工和强化,日益走向实用。玻璃、陶瓷等绝缘体以及高分子聚合物的离子注入,又开辟了新的研究和应用天地。离子进入固体,和固体原子碰撞而损失能量,最终停止在固体内,同时还引起固体原
| Citation: | 范湘军, 王仁卉, 彭友贵. 加速器——电子显微镜联机及其在材料科学研究中的应用[J]. Nuclear Physics Review, 1991, 8(1): 30-34. doi: 10.11804/NuclPhysRev.08.01.030
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